GB-T 14140-2009 硅片直径测量方法

书书书犐犆犛２９．０４５犎８２中华人民共和国国家标准犌犅／犜１４１４０ — ２００９代替ＧＢ／Ｔ１４１４０．１ — １９９３，ＧＢ／Ｔ１４１４０．２ — １９９３硅片直径测量方法犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀犵犱犻犪犿犲狋犲狉狅犳狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉狑犪犳犲狉２００９  １０  ３０发布２０１０  ０６  ０１实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布书书书前　　言　　本标准代替ＧＢ／Ｔ１４１４０．１《硅片直径测量法　光学投影法》和ＧＢ／Ｔ１４１４０．２《硅片直径测量法　千分尺法》。本标准与ＧＢ／Ｔ１４１４０．１和ＧＢ／Ｔ１４１４０．２相比，主要有如下变化： ——— 可测量最大直径的范围增加到３００ｍｍ； ——— 删除了引用标准ＧＢ１２９６２《硅单晶》； ——— 增加了引用标准ＧＢ／Ｔ１２９６４《硅单晶抛光片》； ——— 增加了引用标准ＧＢ／Ｔ６０９３《几何量技术规范（ＧＰＳ）长度标准　量块》； ——— 增加了术语、意义用途、干扰因素； ——— 修改了直径模型的部分内容； ——— 光学投影法参照ＡＳＴＭＦ６１３９３《半导体晶片直径的标准测试方法》进行了修订。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。本标准起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司。本标准主要起草人：刘玉芹、蒋建国、张静雯、冯校亮。本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——— ＧＢ／Ｔ１４１４０．１ — １９９３、ＧＢ／Ｔ１４１４０．２ — １９９３。 Ⅰ 犌犅／犜１４１４０ — ２００９

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本文档由人生无常于 2025-02-21 13:55:43上传分享