ICS29.045 H82 中华人民共和国国家标准 GB/T30861—2014 太 阳能电池用锗衬底片 Germaniumsubstrateforsolarcell 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会 (SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位:中锗科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、厦门乾照光电有限公司、天 津三安光电有限公司。 本标准主要起草人:孙小华、刘绍良、张莉萍、普世坤、王向武、林桂江。 ⅠGB/T30861—2014 太阳能电池用锗衬底片 1 范围 本标准规定了太阳能电池用锗衬底片的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量 证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于垂直梯度凝固法(VGF)和直拉法(CZ)制备的太阳能电池用锗衬底片(以下简称锗衬 底片)。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T6619 硅片弯曲度测试方法 GB/T6620 硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T6621 硅片表面平整度测试方法 GB/T6624 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T26072 太阳能电池用锗单晶 3 要求 3.1 产品分类 锗衬底片按导电类型分为两种: a) N型:主要用于单结电池; b) P型:主要用于三结电池。 3.2 规格 锗衬底片按直径分为Φ50.8mm、Φ100mm、Φ150mm。 3.3 物理性能及位错密度 锗衬底片导电类型、掺杂剂、电阻率、晶向及晶向偏离度、载流子浓度和位错密度应符合 GB/T26072的规定。 3.4 外形尺寸 锗衬底片的外形尺寸应符合表1的规定。 1GB/T30861—2014 表1 外形尺寸 项目 要求 直径/mm 50.8 100 150 直径允许偏差/mm ±0.2 ±0.2 ±0.2 厚度、中心点/μm 140~200 140~200 240~270 厚度允许偏差/μm ±15 ±15 ±15 主参考面长度/mm 17±1.0 32.5±1.0 57.5±2.5 总厚度变化(TTV)/μm ≤10 ≤15 ≤15 弯曲度(BOW)/μm ≤15 ≤20 ≤30 翘曲度(WARP)/μm ≤15 ≤20 ≤30 总平整度(TIR)/μm ≤5 ≤5 ≤5 3.5 强度 Φ50.8mm、Φ100mm、Φ150mm锗衬底片的强度都应≥22.25N(51bf)。 3.6 表面质量 锗衬底片的表面质量应符合表2的规定。 表2 表面质量 正 表 面序号 项目 最大缺陷限度 1 划伤 无 2 蚀坑 无 3 雾 无 4亮点 (颗粒沾污)锗衬底片直径/mm 50.8 100 150 数量/(个/片) 4 10 15 5 区域沾污 无 6 崩边 无 7 裂纹 无 8 凹坑 无 9 沟(槽) 无 10 小丘 无 11 橘皮、波纹 无 12 状态 开盒即用 背 表 面13 崩边 无 14 裂纹 无 15 区域沾污 无 16 背表面处理 酸或碱腐蚀,吸除处理或由供需双方商定 2GB/T30861—2014