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ICS25.220.20 CCSA29 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T43104—2023/ISO20523:2017 碳基薄膜 分类及命名 Carbon based films-Classification and designations (ISO20523:2017,IDT) 2023-09-07发布 2024-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T43104—2023/ISO20523:2017 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 缩略语 5 沉积 6 分类 6.1 概述 6.2 主要的碳基薄膜类型 6.3 分类标准 6.4 薄膜结构 6.5 分类表 7 类聚合物碳基薄膜 8 非晶碳基薄膜 9 金刚石薄膜 10 石墨薄膜· 附录A（资料性） 沉积方法 附录B（资料性） 表征方法 参考文献

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