(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122665618.8 (22)申请日 2021.11.03 (73)专利权人 上海盛备科制冷科技发展 有限公 司 地址 200941 上海市宝山区月罗路457号 (72)发明人 施舜言　 (74)专利代理 机构 上海三方专利事务所(普通 合伙) 31127 代理人 吴玮 (51)Int.Cl. C23C 14/56(2006.01) B01D 53/26(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵 (57)摘要 本实用新型提供了一种具有高效干燥效果 的水汽捕集泵， 包括压缩机、 水冷 交换器、 干燥过 滤器、 第一级热交换器、 油分离器一、 油分离器 二、 制冷电磁阀、 化霜电磁阀、 缓冲电磁阀、 制冷 手阀、 化霜手阀、 回路手阀、 安全 阀以及储气罐， 所述干燥过滤器包括防护壳和防护罩， 所述防护 壳两侧靠近边沿位置开设有密封槽， 所述防护壳 和防护罩之间设置有密封环， 所述密封环上设置 有固定机构， 本实用新型通过将 两组干燥过滤器 并联设置， 提升设备在干燥过滤器处的流量和水 汽吸收量， 使系统内部损耗降低， 提升设备的性 能和效率， 降低设备故障发生概率， 便于工作人 员对干燥过滤器进行拆装， 从而便于对其内部进 行维护。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216107182 U 2022.03.22 CN 216107182 U 1.一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 其特征在于， 包括压缩机 （1） 、 水冷交换器 （2） 、 干燥过滤器 （3） 、 第一级热交换器 （4） 、 油分离器一 （14） 、 油分离器二 （15） 、 制冷电磁阀 （12） 、 化霜电磁阀 （16） 、 缓冲电磁阀 （19） 、 制冷手阀 （13） 、 化霜手阀 （17） 、 回路手阀 （18） 、 安 全阀 （21） 以及储气罐 （20） ， 其中， 所述干燥过滤器 （3） 包括防护壳 （301） 和防护罩 （303） ， 所 述防护壳 （301） 两侧靠近边沿位置开设有密封槽 （311） ， 所述防护壳 （301） 内部设置有干燥 剂 （312） ， 所述防护壳 （301） 和防护罩 （303） 之间设置有密封环 （302） ， 所述密封环 （302） 上设 置有固定 机构 （304） 。 2.根据权利要求1所述的一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 其特征在于， 所述固定 机构 （304） 包括固定板一 （305） ， 所述固定板一 （305） 两侧靠近中间位置开设有卡槽 （306） ， 所述固定板一 （305） 两侧均设置有固定板二 （308） ， 所述固定板二 （308） 靠近固定板一 （305） 一侧位置设置有卡板 （307）， 所述固定板二 （308） 一侧靠近两端位置均贯穿设置有螺栓 （310） ， 所述螺 栓 （310） 一端活动设置有螺母 （3 09） 。 3.根据权利要求2所述的一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 其特征在于， 所述固定 板二 （308） 通过卡槽 （306） 配合卡板 （307） 活动设置在固定板一 （305） 两侧位置， 所述螺栓 （310） 一端贯 穿固定板一 （305） 和固定 板二 （308） 设置。 4.根据权利要求1所述的一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 其特征在于， 所述干燥 过滤器 （3） 的数量为两组， 两组干燥过滤器 （3） 通过回路管依次连接， 呈并联状态设置在水 冷交换器 （2） 和第一级热交换器 （4） 之间。 5.根据权利要求1所述的一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 其特征在于， 超低温水 汽捕集泵内设有5级制冷系统， 其从入口端由前至后依次串联布置压缩机 （1） 、 高压端波纹 管、 水冷交换器 （2） 、 干燥过滤器 （3） 、 制冷剂管道、 相分离器、 制冷电磁阀 （12） 、 制冷手阀 （13） 、 蒸发器、 回路手阀 （18） 、 安全阀 （21） 以及低压端 波纹管通过铜质制管道连接组成。 6.根据权利要求5所述的一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 其特征在于， 所述第 一 级热交换器 （4） 一端依次连接有第一级相分离器 （5） 、 第二级热 交换器 （6） 、 第二级相分离器 （7） 、 第三级热交换器 （8） 、 第三级相分离器 （9） 、 第四级热交换器 （10） 以及第五级热交换器 （11） 。 7.根据权利要求5所述的一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 其特征在于， 所述超低 温水汽捕集泵安装在真空镀膜系统内部 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216107182 U 2一种具有高 效干燥效果的水汽捕 集泵 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种捕集泵， 具体涉及一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 属 于捕集泵领域。 背景技术 [0002]目前国内的超低温具有高效干燥效果的水汽捕集泵主要用于对如半导体、 光纤， 平板显示等产品进 行真空镀膜时， 在真空室内抽吸水汽， 现有技术中， 超低温具有高效干燥 效果的水汽捕集泵内部仅仅设置有一组干燥过滤器， 通过干燥过滤器吸收进入设备内部的 气体中的水分子 。 [0003]然而， 现有技术中， 由于干燥过滤器流量设计不足， 无法满足大负载时制冷剂的流 动需求， 同时大负载使用的制冷剂数量较多， 所以含水量也较大， 当前的干燥过滤器可能无 法完全吸收水分子， 并且不便于对干燥过滤器进行拆装， 导致工作人员无法很好的对其内 部维护， 为此， 我们提供了一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵。 实用新型内容 [0004]针对现有技术中的问题， 本实用新型提供了一种具有高效干燥效果的水汽捕集 泵， 用以解决具有高效干燥效果的水汽捕集泵的体积和重量较大， 不方便拆卸和移动； 并 且， 容量较大， 在小负载情况 下制冷量浪费严重， 能耗较高的技 术问题。 [0005]本实用新型的目的可以通过以下技 术方案实现： [0006]一种具有高效干燥效果的水汽捕集泵， 包括压缩机、 水冷交换器、 干燥过滤器、 第 一级热交换器、 油分离器一、 油分离器二、 制冷电磁阀、 化霜电磁阀、 缓冲电磁阀、 制冷手阀、 化霜手阀、 回路手阀、 安全阀以及储气罐， 所述干燥过滤器包括防护壳和防护罩， 所述防护 壳两侧靠近边沿位置开设有密封槽， 所述防护壳内部设置有干燥剂， 所述防护壳和防护罩 之间设置有密封环， 所述密封环上设置有固定 机构。 [0007]进一步的， 所述固定机构包括固定板一， 所述固定板一两侧靠近中间位置开设有 卡槽， 所述固定板一两侧均设置有固定板二， 所述固定板二靠近固定板一一侧 位置设置有 卡板， 所述固定 板二一侧靠近两端位置均贯 穿设置有螺 栓， 所述螺 栓一端活动设置有螺母。 [0008]进一步的， 所述固定板二通过卡槽配合卡板活动设置在固定板一两侧位置， 所述 螺栓一端贯 穿固定板一和固定 板二设置 。 [0009]进一步的， 所述干燥过滤器的数量为两组， 两组干燥过滤器通过回路管依次连接， 呈并联状态设置在水冷交换器和第一级热交换器之间。 [0010]进一步的， 超低温水汽捕集泵内设有级制冷系统， 其从入口端由前至后依次串联 布置压缩机、 高压端波纹管、 水冷交换器、 干燥过滤器、 制冷剂管道、 相分离器、 制冷电磁阀、 制冷手阀、 蒸发器、 回路手阀、 安全阀以及低压端 波纹管通过铜质制管道连接组成。 [0011]进一步的， 所述第一级热交换器一端依次连接有第一级相分离器、 第二级热交换 器、 第二级相分离器、 第三级热交换器、 第三级相分离器、 第四级热交换器以及第 五级热交说　明　书 1/3 页 3 CN 216107182 U 3