(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210365972.5 (22)申请日 2022.04.08 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114446840 A (43)申请公布日 2022.05.06 (73)专利权人 四川上特科技有限公司 地址 629201 四川省遂宁市射洪县河东大 道88号 (72)发明人 冯永　胡仲波　冯艾诚　李健儿　 蒋红全　周建余　 (74)专利代理 机构 成都诚中致达专利代理有限 公司 51280 专利代理师 杨春 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01)B08B 1/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (56)对比文件 CN 112864058 A,2021.0 5.28 KR 20090021915 A,20 09.03.04 CN 112053979 A,2020.12.08 JP 2006167508 A,2006.06.29 CN 214152873 U,2021.09.07 CN 215823489 U,202 2.02.15 WO 2020164595 A1,2020.08.20 CN 109712 919 A,2019.0 5.03 余兴建等.高出光品质LED封装:现状及进 展. 《中国科 学:技术科学》 .2017,(第09期), 审查员 于鹏飞 (54)发明名称 一种晶圆玻璃粉 擦除装置 (57)摘要 本申请提供一种晶圆玻璃粉擦除装置， 属于 制造半导体的设备领域， 装置包括： 存纸筒、 取纸 机构、 夹持机构以及旋转吸盘。 存纸筒用于堆叠 存放滤纸。 取纸机构包括吸纸管， 用于取出存纸 筒内的滤纸， 吸纸管沿竖直方向升降。 夹持机构 包括防尘罩， 防尘罩内部设有相对移动的两块夹 板， 用于压紧对折后的滤纸， 防尘罩沿水平方向 移动设置， 存纸筒位于防尘罩移动方向的一端下 方。 旋转吸盘用于固定晶圆， 并使晶圆旋转， 旋转 吸盘设于防尘罩移动方向的另一端下方。 有较高 的工作效率， 可保证晶圆各处的擦除效果一致， 同时可避免粉尘污染。 权利要求书1页 说明书5页 附图11页 CN 114446840 B 2022.07.01 CN 114446840 B 1.一种晶圆玻璃粉擦除装置， 其特 征在于， 包括： 存纸筒 （10） ， 用于堆叠存放滤纸； 取纸机构 （20） ， 包括沿竖直方向升降设置 的吸纸管 （21） ， 用于吸附存纸筒 （10） 内顶面 上的滤纸； 夹持机构 （30） ， 包括底部开口的防尘罩 （31） ， 防尘罩 （31） 内部设有相对移动的两块夹 板 （32） ， 夹板 （32） 相对的一侧为平 面结构， 用于压紧对折后的滤纸， 吸纸管 （21） 升降时可连 带着滤纸从夹板 （32） 之间穿过， 防尘罩 （31） 沿水平方向移动设置， 存纸筒 （10） 位于防尘罩 （31） 移动方向的一端下 方； 旋转吸盘 （40） ， 用于固定晶圆， 并使晶圆旋转， 旋转吸盘 （40） 设于防尘罩 （31） 移动方向 的另一端下 方。 2.根据权利要求1所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 存纸筒 （10） 底部设有举升 装置， 用于举升存纸筒 （10） 的滤纸。 3.根据权利要求1所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 吸纸管 （21） 底面为平面， 设有两列通孔 （211） 及一条矩形孔 （212） ， 吸纸管 （21） 内部具有与通孔 （211） 及矩形孔 （212） 均连通的矩形腔 （213） ， 矩形腔 （213） 内设有T型板 （22） ， T型板 （22） 的横板 （221） 滑动设于矩 形腔 （213） 内， T型板 （22） 的竖板 （222） 穿设于矩形孔 （212） 内， 竖板 （222） 底面设有粘接层， 吸纸管 （21） 至少一端设有吸管接头 （23） ， 吸管接头 （23） 的穿设位置位于横板 （221） 的底面 与矩形腔 （213） 的底面之间， 通过 吸管接头 （23） 对吸纸管 （21） 内部降压或加压， 可使T型板 （22） 沿垂直于底面的方向移动。 4.根据权利要求3所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 横板 （221） 底面设有支撑 杆 （223） ， 当支撑杆 （223） 的底面正好与矩形腔 （213） 的底面接触时， 竖板 （222） 的底面与吸 纸管 （21） 的底面平齐或凸出于吸纸管 （21） 底面预定距离 。 5.根据权利要求1所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 夹板 （32） 相对一侧的平面 结构上方设有弹力片 （3 3） ， 弹力片 （3 3） 的上段倾斜朝向两块夹 板 （32） 的中间。 6.根据权利要求1所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 吸纸管 （21） 的上方连接于 一横梁 （24） ， 横梁 （24） 的一端用于连接升降装置的伸缩杆， 横梁 （24） 与吸纸管 （21） 平行设 置， 横梁 （24） 的上 方设有截面 为三角形的导向罩 （25） 。 7.根据权利要求1所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 防尘罩 （31） 侧壁对应吸纸 管 （21） 的移动轨迹开设有条形槽 （311） ， 用于容纳吸纸管 （21） ， 条形槽 （311） 位于两侧的夹 板 （32） 之间， 条 形槽 （311） 设有一对橡胶门帘 （312） 。 8.根据权利要求1所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 旋转吸盘 （40） 的外周设有 环形罩 （41） ， 环形罩 （41） 内壁设有排气孔用于吸除擦除玻璃粉形成的粉尘， 防尘罩 （31） 的 外径小于环形罩 （41） 的内径， 擦除玻璃粉时， 防尘罩 （31） 的下 段插设于环形罩 （41） 内。 9.根据权利要求1所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 夹板 （32） 均采用气缸驱 动， 气缸设于防尘罩 （31） 的外侧。 10.根据权利要求1所述的晶圆玻璃粉擦除装置， 其特征在于， 吸纸管 （21） 的两侧外壁 呈圆弧结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114446840 B 2一种晶圆玻璃粉擦除装 置 技术领域 [0001]本发明属于制造或处理半导体或固体器件的设备技术领域， 尤其涉及 一种晶圆玻 璃粉擦除装置 。 背景技术 [0002]晶圆生产主要包括蚀刻、 显影、 沟槽蚀刻、 玻璃钝化、 金属化、 清洗及划片等工艺。 其中玻璃钝化工艺需要在晶圆表面的沟槽内涂覆 填充玻璃粉， 并且需要将晶圆表面多余的 玻璃粉擦除。 [0003]现有的方式多数采用人工利用对折的中性滤纸擦去晶圆表面的玻璃粉， 由于操作 者通常利用拇指、 食指和中指捏住折叠后的中性滤纸中部， 对折的中性滤纸中部受力较为 稳定， 可有效擦除晶圆表面的玻璃粉， 而中性滤纸底边的两端受力却很小、 且不稳定， 导致 无法有效的擦除晶圆表面的玻璃粉。 如此便需要操作者捏着中性滤纸在晶圆表面进行无规 律的往复或旋转运动， 以尽可能的擦除晶圆表面的玻璃粉。 此种方式不仅擦除效率较低； 而 且由于操作者存在不 规律的移动中性滤纸， 致使晶圆各处的擦除效果并不 一致。 发明内容 [0004]为解决现有技术不足， 本发明提供一种晶圆玻璃粉擦除装置， 具有较高的擦除效 率， 可保证晶圆各处的擦除效果 一致， 并且可防止粉尘污染。 [0005]为了实现本发明的目的， 拟采用以下 方案： [0006]一种晶圆玻璃粉擦除装置， 包括： 存纸筒、 取纸机构、 夹持机构以及旋转吸盘。 [0007]存纸筒用于堆叠存放滤纸。 [0008]取纸机构包括吸纸管， 利用负压吸附存纸筒内顶面上的滤纸， 吸纸管沿竖直方向 升降设置 。 [0009]夹持机构包括底部开口的防尘罩， 防尘罩内部设有相对移动的两块夹板， 夹板相 对的一侧 为平面结构， 用于压紧对折后的滤纸， 吸纸管升降时可连带着滤纸从夹板之间穿 过， 防尘罩沿水平方向移动设置， 存纸筒位于防尘罩移动方向的一端下 方。 [0010]旋转吸盘用于固定 晶圆， 并使晶圆旋转， 旋转吸盘设于防尘罩移动方向的另一端 下方。 [0011]进一步的， 存纸筒底部设有举升装置， 用于举升存纸筒的滤纸。 [0012]进一步的， 吸纸管底面为平面， 设有两列通孔及一条矩形孔， 吸纸管内部具有与通 孔及矩形孔均连通的矩形腔， 矩形腔内设有T型板， T型板的横板滑动设于矩形腔内， T型板 的竖板穿设于矩形孔内， 竖板底面设有粘接层， 吸纸管至少一端设有吸管接头， 吸管接头的 穿设位置位于横板的底面与矩形腔的底面之间， 通过吸管接头对吸纸管内部降压或加压， 可使T型板沿垂直于底面的方向移动。 [0013]进一步的， 横板底面设有支撑杆， 当支撑杆的底面正好与矩形腔的底面接触时， 竖 板的底面与吸纸管的底面平齐或凸出于吸纸管底面预定距离 。说　明　书 1/5 页 3 CN 114446840 B 3