(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210350533.7 (22)申请日 2022.04.02 (71)申请人 普乐新能源科技 （徐州） 有限公司 地址 221100 江苏省徐州市高新 技术产业 开发区珠 江东路11号办公大楼12 22室 (72)发明人 董思敏　欧文凯　向亮睿　 (74)专利代理 机构 南京泰普专利代理事务所 (普通合伙) 32360 专利代理师 张磊 (51)Int.Cl. B08B 9/093(2006.01) B08B 9/087(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种可靠的腔体吹扫方法 (57)摘要 本发明公开了一种可靠的腔 体吹扫方法， 属 于太阳能电池技术领域。 包括以下步骤： 预先设 置吹扫启动环 境和吹扫结束条件； 基于所述吹扫 启动环境配置对应的吹扫启动程序； 接收吹扫指 令， 启动吹扫启动程序对待吹扫的腔体进行吹 扫； 当所述腔体内的压力值达到所述吹扫结束条 件后， 结束吹扫启动程序。 本发明中利用腔体内 趋于平衡的压力值体现腔体内特气是否被清除 干净， 此时腔体内的压力值皆由吹扫气体带来 的， 故可判定腔体内的特气已被排除干净， 本发 明中以平衡的压力值作为指标更加简单明了， 既 保证了腔体吹扫方法的可靠性， 降低了残余特气 对工作人员的危害， 又减少吹扫气体的浪费。 权利要求书2页 说明书5页 附图1页 CN 114871223 A 2022.08.09 CN 114871223 A 1.一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： 预先设置吹扫启动环境和吹扫结束条件； 基于所述吹扫启动环境配置对应的吹扫启动程序； 接收吹扫指令， 启动吹扫启动程序对待吹扫的腔体进行吹扫； 当所述腔体内的压力值达 到所述吹扫结束条件后， 结束吹扫启动程序； 所述吹扫结束条件的设置流程如下： 获取当前腔体 内压力值得到关于时间点的实时压 力值集合， 将所述实时压力值集合中的多个元素波动程度与预定压力值区间进行对比， 若 多个元素波动程度属于所述预定压力值区间内， 则开始计时得到稳定的时间段T， 若T属于 预定时间段内， 则结束吹扫启动程序； 其中， 所述吹扫结束条件至少包括以下条件： 当前腔体内压力值波动程度在预定压力 值区间内且稳定的时间段T在预定时间段内。 2.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 所述预定 压力值区间设置为压力值波动范围≤ 5%， 预定时间段设置为5s ‑10s。 3.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 当T小于预定时间段最小值时， 当所述实时压力值集合出现多个元素波动不属于预定 压力值区间内时， 则重计时间T， 如此反复， 直至T属于预定时间段内。 4.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 所述吹扫启动环境至少包括以下参数： 抽空装置工作状态、 吹扫气体量、 以及吹扫时 间。 5.根据权利要求 4所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 所述吹扫启动程序具体包括以下流 程： S1、 启动抽空装置， 抽空装置处于满运行状态， 对所述腔体进行抽气， 控制腔体内压力 值在0‑3000mtorr范围内， 预定抽气时间不低于15s后， 关闭抽空装置； S2、 将吹扫气体充入腔体内， 吹扫气体量设定为不大于MFC量程， 吹扫气体用于稀释腔 体内的特气以及对腔体回压； S3、 再次启动抽空装置， 抽空装置处于满运行状态， 对所述腔体进行抽气， 并同时持续 充入吹扫气体， 实现边充气边抽气状态。 6.根据权利要求5所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 所述S3步骤中， 控制腔体内压力值在0 ‑3000mtorr范围内； 吹扫气体量设定为不大于 MFC量程； 持续充入吹扫气体时间设定为在10s ‑120s范围内。 7.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 所述吹扫启动程序 结束后， 关闭抽空装置停止抽 气， 向所述腔体 内充入惰性气体， 惰性 气体对腔体回压 。 8.根据权利要求5所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 吹扫气体充入端与抽空装置抽 气端位于所述腔体的两端， 两端闭合状态下腔体 内部为 密闭空间。 9.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 设定吹扫总时间ξ， 若超出吹扫总时间ξ， 所述腔体内压力值尚未达到吹扫结束条件， 则 结束吹扫启动程序； ξ满足以下计算公式：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114871223 A 2； ； 其中， t 为达到要求真空度所需时间， V  为真空室容积， S  为真空泵抽气速率， P1  为初 始真空度， P2为要求真空度。 10.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法， 其特 征在于， 所述吹扫气体为氮气或其 他惰性气体。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114871223 A 3