(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210335125.4 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 广东高景太阳能科技有限公司 地址 519000 广东省珠海市横琴新区荣澳 道153号4幢二层B25单 元 申请人 青海高景太阳能科技有限公司 (72)发明人 孙彬　马伟萍　刘燕　芮芬　乔乐　 殷小强　 (74)专利代理 机构 广州三环 专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 卢泽明 (51)Int.Cl. B08B 11/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 3/04(2006.01) (54)发明名称 一种具有监控功能的硅片自动清洗 机 (57)摘要 本发明公开的属于硅片制造技术领域， 具体 为一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 包括自 动清洗机机体， 所述自动清洗机机体的内壁开设 有若干清洗槽， 所述清洗槽的顶部设有机盖， 所 述机盖的顶部固定安装把手， 所述自动清洗机机 体的底部固定安装若干支撑腿， 所述自动清洗机 机体的底端内壁固定连接若干排液管， 且排液管 与清洗槽相连接， 所述排液管上设有电磁阀， 所 述清洗槽的底端内壁安装有升降结构， 所述自动 清洗机机体上设有若干检测结构， 且检测结构的 一端位于清洗槽的内侧， 所述机盖的底部安装有 监控结构， 本发明可满足自动检测， 方便确认清 洗品质， 能有效提升产品品质， 可提升自动化能 力， 减少人员干预。 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 CN 114653705 A 2022.06.24 CN 114653705 A 1.一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 包括自动清洗机机体(1)， 所述自动清洗机机 体(1)的内壁开设有若干清洗槽(15)， 所述清洗槽(15)的顶部设有机盖(12)， 所述机盖(12) 的顶部固定安装把手(13)， 所述自动清洗机机体(1)的底部固定安装若干支撑腿(11)， 所述 自动清洗机机体(1)的底端 内壁固定连接若干排液管(14)， 且排液管(14)与清洗槽(15)相 连接， 所述排液管(14)上设有电磁阀， 其特征在于， 所述清洗槽(15)的底端内壁安装有升降 结构， 所述自动清洗机机体(1)上设有若干检测结构， 且检测结构的一端位于清洗槽(15)的 内侧， 所述机 盖(12)的底部安装有监控结构； 所述监控结构包括左右移动组件、 前后移动组件、 旋转组件、 角度调节组件和监控组 件， 所述机盖(12)的底部安装左右移动组件， 所述左右移动组件上安装前后移动组件， 所述 前后移动组件上安装旋转组件， 所述旋转组件上安装角度调节组件， 所述角度调节组件上 安装监控组件； 所述监控组件包括摄像头(91)和显示器(92)， 所述角 度调节组件上安装摄像头(91)， 且摄像头(91)与显示器(9 2)电性连接， 所述显示器(9 2)固定安装在自动清洗 机机体(1)上。 2.根据权利要求1所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述检测 结构包括温度检测组件、 P H检测组件和电导率检测组件， 所述 温度检测组件、 所述P H检测组 件和所述电导率检测组件均安装在自动清洗机机体(1)上， 且温度检测组件、 P H检测组件和 电导率检测组件的一端均位于清洗 槽(15)的内侧。 3.根据权利要求2所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述温度 检测组件包括温度探头(31)和温度检测仪(34)， 所述自动清洗机机体(1)的底端内壁固定 安装若干温度探头(31)， 且温度探头(31)的一端延伸至清洗槽(15)的内侧， 所述温度探头 (31)与所述温度检测仪(34)电性连接， 且温度检测仪(34)固定安装在自动清洗机机体(1) 上。 4.根据权利要求2所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述PH检 测组件包括PH探头(32)和PH检测仪(35)， 所述自动清洗机机体(1)的底端内壁固定安装若 干PH探头(32)， 且PH探头(32)的一端延伸至清洗槽(15)的内侧， 所述PH探头(32)与所述PH 检测仪(3 5)电性连接， 且PH检测仪(3 5)固定安装在自动清洗 机机体(1)上。 5.根据权利要求2所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述电导 率检测组件包括电导率探头(33)和电导率测定仪(36)， 所述自动清洗机机体(1)的底端内 壁固定安装若干电导率探头(33)， 且电导率探头(33)的一端延伸至清洗槽(15)的内侧， 所 述电导率探头(33)与所述电导率测定仪(36)电性连接， 且电导率测定仪(36)固定安装在自 动清洗机机体(1)上。 6.根据权利要求1所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述升降 结构包括大盒体(41)， 所述清洗槽(15)的底部两端内壁均固定安装大盒体(41)， 所述大盒 体(41)的内壁固定安装大液压缸(42)， 所述大液压缸(42)的输出端通过 活塞杆固定安装放 置板(43)， 且放置板(43)的内壁开设有若干通孔(44)， 所述清洗槽(15)的内壁滑动连接放 置板(43)。 7.根据权利要求1所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述左右 移动组件包括第一箱体(51)、 第一支撑板(53)和第一滑块(56)， 所述机盖(12)的底部两端 均固定安装第一支撑板(53)， 两组所述第一支撑板(53)之间的内壁通过轴承转动连接第一权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114653705 A 2螺杆(54)， 所述第一螺杆(54)上螺纹连接第一螺母(55)， 所述第一滑块(56)的内壁固定安 装第一螺母(5 5)， 所述第一滑块(5 6)上安装前后移动组件； 一组所述第一支撑板(53)上固定安装第一箱体(51)， 所述第一箱体(51)的内壁 固定安 装第一伺服电机(52)， 所述第一伺服电机(52)的输出轴与所述第一螺杆(54)固定连接； 两组所述第一支撑板(53)之间固定安装第一导向杆(57)， 所述第一滑块(56)的顶端内 壁滑动连接第一 导向杆(57)。 8.根据权利要求7所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述前后 移动组件包括连接板(61)和第二滑块(65)， 所述第一滑块(56)的底部固定安装连接板 (61)， 所述连接板(61)的底部两端内壁均固定安装第二支撑板(62)， 两组所述第二支撑板 (62)之间通过轴承转动连接第二螺杆(63)， 所述第二螺杆(63)上螺纹连接第二螺母(64)， 所述第二滑块(6 5)的内壁固定安装第二螺母(64)， 所述第二滑块(6 5)上安装旋转组件； 一组所述第二支撑板(62)上固定安装第二箱体(67)， 所述第二箱体(67)的内壁 固定安 装第二伺服电机(68)， 所述第二伺服电机(68)的输出轴与所述第二螺杆(6 3)固定连接； 两组所述第二支撑板(62)之间固定安装第二导向杆(66)， 所述第二滑块(65)的顶端内 壁滑动连接第二 导向杆(6 6)。 9.根据权利要求8所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述旋转 组件包括第三箱体(71)， 所述第二滑块(65)的底部固定安装第三箱体(71)， 所述第三箱体 (71)的内壁固定安装第三伺服电机(72)， 所述第三伺服电机(72)的输出轴固定安装旋转板 (73)， 所述旋转板(73)上安装角度调节组件。 10.根据权利要求9所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机， 其特征在于， 所述角 度调节组件包括U形板(81)和小盒体(83)， 所述旋转板(73)的底部固定安装U形板(81)， 所 述U形板(81)的底端内壁通过关节轴承活动连接传动杆(82)， 所述传动杆(82)的底部固定 安装摄像头(91)； 所述小盒体(83)的内壁 固定安装小液压缸(84)， 所述小液压缸(84)上的活塞杆通过销 钉转动连接在传动杆(82)上， 所述小盒体(83)的一端通过连接杆转动连接在旋转板(73) 上。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114653705 A 3