(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210945158.0 (22)申请日 2022.08.08 (71)申请人 徐州良萌半导体科技有限公司 地址 221700 江苏省徐州市丰 县经济开发 区智能设备终端产业园10号标准厂房 1楼 (72)发明人 赵瑞昆　高小良　 (74)专利代理 机构 北京专赢专利代理有限公司 11797 专利代理师 蒋婷 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B65G 49/06(2006.01) (54)发明名称 一种光刻玻璃 表面清洁装置 (57)摘要 本发明涉及光刻玻璃清洁技术领域， 公开了 一种光刻玻璃表面清洁装置， 包括清洁箱， 还包 括： 转动设置在清洁箱内的转轴， 转轴上固定安 装有转动柱， 转动柱外壁上固定安装有若干个等 间隔呈环形分布的放置机构； 所述清洁箱一端滑 动连接活动机构， 活动机构上设置有清理机构； 所述活动机构通过摆动机构进行驱动， 所述清洁 箱一端固定安装有动力箱， 动力箱内设置有用于 驱动转轴转动的间歇机构， 间歇机构通过传动机 构驱动摆动机构； 本发明通过设置的间歇机构、 放置机构、 传动机构、 摆动机构、 活动机构和清理 机构可以间歇对光刻玻璃进行双面清洁， 去除光 刻玻璃表面的污渍， 实现双面清洁， 实现对同一 光刻玻璃的多次清洁， 进而可以避免单次清洁不 彻底的问题。 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 CN 115156120 A 2022.10.11 CN 115156120 A 1.一种光刻玻璃 表面清洁装置， 包括清洁箱， 其特 征在于， 还 包括： 转动设置在清洁箱内的转轴， 转轴上固定安装有转动柱， 转动柱外壁上固定安装有若 干个等间隔呈环形分布的放置机构， 用于放置待清洗的光刻玻璃； 所述清洁箱一端滑动连 接活动机构， 活动机构上设置有清理机构， 用于对光刻玻璃双面进 行清理； 所述活动机构通 过摆动机构进行驱动， 所述清洁箱一端固定安装有动力箱， 动力箱内设置有用于驱动转轴 转动的间歇机构， 间歇机构通过传动机构驱动摆动机构； 所述放置机构包括若干个U型架， 若干个U型架呈环形固定安装在转动柱外壁上； 所述活动机构包括活动板， 活动板的四个拐角处固定安装有滑动于清洁箱上的限位 杆， 所述活动板和清洁箱之间设置有第一弹性件， 所述活动板上固定安装有若干个呈环形 分布的支杆， 支杆远离活动板一端固定安装有活动箱； 所述清理机构包括安装在活动箱内的连接板， 连接板和活动箱内壁之间设置有若干个 导向杆， 导向杆上滑动设置有移动板， 移动板上通过挤压件连接安装板， 安装板上固定安装 有刮板和海绵板， 所述移动板通过伸缩杆 连接活动箱内壁。 2.根据权利要求1所述的一种光刻玻璃表面清洁装置， 其特征在于， 所述挤压件包括固 定筒， 固定筒固定连接滑板， 所述固定筒内设置有滑槽， 滑槽内设置有第二弹性件， 第二弹 性件一端连接有滑动于滑槽的滑板， 滑板通过滑杆固定连接安装板 。 3.根据权利要求1所述的一种光刻玻璃表面清洁装置， 其特征在于， 所述间歇机构包括 转轴延伸进动力箱一端固定安装的间歇块， 间歇块上设置有若干个呈环形分布的间歇槽， 所述动力箱内转动安装有主轴， 主轴 上固定安装有摆动块， 摆动块上固定安装有和间歇槽 间歇配合的摆动杆。 4.根据权利要求3所述的一种光刻玻璃表面清洁装置， 其特征在于， 所述主轴连接 固定 安装在动力箱外壁的驱动件。 5.根据权利要求1所述的一种光刻玻璃表面清洁装置， 其特征在于， 所述摆动机构包括 转动安装在清洁箱一侧的活动轴， 活动轴 上固定安装有转盘， 转盘偏心位置固定安装有转 柱， 转柱通过 连杆转动连接活动板 。 6.根据权利要求5所述的一种光刻玻璃表面清洁装置， 其特征在于， 所述传动机构包括 固定安装在主轴上 的不完全锥齿轮， 所述动力箱上转动设置有传动轴， 传动轴一端连接有 和不完全锥齿轮间歇啮合的传动锥齿轮， 所述传动轴和活动轴 上均安装有传动轮， 两个所 述传动轮之间通过同步带传动连接 。 7.根据权利要求1所述的一种光刻玻璃表面清洁装置， 其特征在于， 所述清洁箱内设置 有震荡器。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115156120 A 2一种光刻玻璃表面清洁装 置 技术领域 [0001]本发明涉及光刻玻璃 清洁技术领域， 具体是一种光刻玻璃 表面清洁装置 。 背景技术 [0002]可光刻玻璃是一种新兴的玻璃材料， 可应用于微电子集成技术领域； 在光刻玻璃 加工前需要对玻璃 表面进行清洁。 [0003]现有技术中， 通过在壳体顶部 的清洗结构设有丝杆和步进电机， 可以控制清洁刷 辊和风刀的高度， 对不同厚度的玻璃进 行清洗， 操作简单方便； 当清洗机内部的海绵吸水辊 饱和后或者定期进行排水作业， 排水作业时海绵吸水辊两侧的排水辊对海绵吸水辊进 行挤 压， 使得海绵吸水辊内部的水排出， 并在排水的同时， 使用导水板将水引流至集水箱内部， 工人定时对海绵吸水辊进 行排水， 提高了玻璃清洗的良率， 使得玻璃清洗机可以高效、 稳定 的清洁玻璃， 但是现有技术不能实现对玻璃的双面清洁， 需要依靠人工翻动玻璃再次清洁， 同时现有技术存在单次清洁不彻底， 且不能同时对多个玻璃同时进行多次清洁， 因此不能 高效的清洁玻璃， 所以现有技 术具有较大的改进空间。 [0004]为此本领域技术人员提出了一种光刻玻璃表面清洁装置， 以解决上述背景中提出 的问题。 发明内容 [0005]本发明的目的在于提供一种光刻玻璃表面清洁装置， 以解决上述背景技术中提出 的问题。 [0006]为实现上述目的， 本发明提供如下技 术方案： 一种光刻玻璃 表面清洁装置， 包括清洁箱， 还 包括： 转动设置在清洁箱内的转轴， 转轴上固定安装有转动柱， 转动柱外壁上固定安装 有若干个等间隔呈环形分布的放置机构， 用于放置待清洗的光刻玻璃； 所述清洁箱一端滑 动连接活动机构， 活动机构上设置有清理机构， 用于对光刻玻璃双面进 行清理； 所述活动机 构通过摆动机构进行驱动， 所述清洁箱一端固定安装有动力箱， 动力箱内设置有用于驱动 转轴转动的间歇机构， 间歇机构通过传动机构驱动摆动机构； 所述放置机构包括若干个U型架， 若干个U型架呈环形固定安装在转动柱外壁上； 所述活动机构包括活动板， 活动板的四个拐角处固定安装有滑动于清洁箱上的限 位杆， 所述活动板和清洁箱之间设置有第一弹性件， 所述活动板上固定安装有若干个呈环 形分布的支杆， 支杆远离活动板一端固定安装有活动箱； 所述清理机构包括安装在活动箱内 的连接板， 连接板和活动箱内壁之间设置有若 干个导向杆， 导向杆上滑动设置有移动板， 移动板上通过挤压件连接安装板， 安装板上固定 安装有刮板和海绵板， 所述移动板通过伸缩杆 连接活动箱内壁。 [0007]作为本发明的一种优选技术方案， 所述挤压件包括固定筒， 固定筒固定连接滑板， 所述固定筒内设置有滑槽， 滑槽内设置有第二弹性件， 第二弹性件一端连接有滑动于滑槽说　明　书 1/4 页 3 CN 115156120 A 3