ICS31.550 CCS L 95 S 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 11829.2—2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式 PECVD设备 Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD)equipment used for crystalline silicon photovoltaic cells—Part 2:Plate PECVD equipment 2022-10-20发布 2023-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ SJ/T11829.2—2022 目次前言范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义型号命名 .2 5 工作环境及工作条件 3 要求 1A 3 7 检验方法 5 8检验规则 9 标志、包薯、搬运和运输，存 10 9

SJ-T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式PECVD设备

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