书 书 书犐犆犛 ３１ ． ２００ 犔 ５５ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 ／ 犜 ３８４４７ — ２０２０ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 （ 犕犈犕犛 ） /G26 /G27 犕犈犕犛 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾狊狔狊狋犲犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔 — 犉犪狋犻犵狌犲狋犲狊狋犻狀犵犿犲狋犺狅犱狅犳犕犈犕犛狊狋狉狌犮狋狌狉犲狌狊犻狀犵狉犲狊狅狀犪狀狋狏犻犫狉犪狋犻狅狀 ２０２０  ０３  ０６ /G32 /G33 ２０２０  ０７  ０１ /G34 /G35 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G32 /G33 目 　　 次 前言 Ⅰ ………………………………………………………………………………………………………… １ 　 范围 １ ……………………………………………………………………………………………………… ２ 　 规范性引用文件 １ ………………………………………………………………………………………… ３ 　 术语和定义 １ ……………………………………………………………………………………………… ４ 　 试验方法 １ ………………………………………………………………………………………………… 　 ４．１ 　 总则 １ ………………………………………………………………………………………………… 　 ４．２ 　 试验设备 １ …………………………………………………………………………………………… 　 ４．３ 　 试验环境 ２ …………………………………………………………………………………………… 　 ４．４ 　 样品要求 ２ …………………………………………………………………………………………… 　 ４．５ 　 试验条件 ３ …………………………………………………………………………………………… 　 ４．６ 　 试验步骤 ３ …………………………………………………………………………………………… 　 ４．７ 　 试验报告 ４ …………………………………………………………………………………………… 附录 Ａ （ 资料性附录 ） 　 集成激振和检测结构静电器件的试验示例 ５ …………………………………… 附录 Ｂ （ 资料性附录 ） 　 外部驱动和集成应变结构 （ 检测位移 ） 器件的试验示例 ８ ……………………… 附录 Ｃ （ 资料性附录 ） 　 基于帕里斯 （ Ｐａｒｉｓ ） 定律和韦伯 （ Ｗｅｉｂｕｌｌ ） 分布的脆性材料疲劳寿命理论 表达式 １０ …………………………………………………………………………… 附录 Ｄ （ 资料性附录 ） 　 分析示例 １３ ………………………………………………………………………… 参考文献 １５ …………………………………………………………………………………………………… 犌犅 ／ 犜 ３８４４７ — ２０２０ 前 　　 言 　　 本标准按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ 给出的规则起草 。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ３３６ ） 提出并归口 。 本标准起草单位 ： 北京大学 、 中机生产力促进中心 、 北京智芯传感科技有限公司 、 沈阳国仪检测技术有限公司 、 浙江博亚精密机械有限公司 、 中北大学 、 北京必创科技股份有限公司 。 本标准主要起草人 ： 张威 、 张亚婷 、 于振毅 、 陆学贵 、 朱悦 、 石云波 、 李海斌 、 程逸轩 、 周浩楠 、 陈得民 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３８４４７ — ２０２０ 微机电系统 （ 犕犈犕犛 ） 技术 犕犈犕犛 结构共振疲劳试验方法 １ 　 范围 本标准规定了 ＭＥＭＳ 结构共振疲劳试验的试验方法 ， 包括设备 、 试验环境 、 样品要求 、 试验条件和试验步骤 。 本标准适用于 ＭＥＭＳ 结构的共振疲劳试验 。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。 凡是注日期的引用文件 ， 仅注日期的版本适用于本文件 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本 （ 包括所有的修改单 ） 适用于本文件 。 ＧＢ ／ Ｔ２２９８ 　 机械振动 、 冲击与状态监测 　 词汇 ＧＢ ／ Ｔ１０６２３ 　 金属材料 　 力学性能试验术语 ＧＢ ／ Ｔ２６１１１ 　 微机电系统 （ ＭＥＭＳ ） 技术 　 术语 ３ 　 术语和定义 ＧＢ ／ Ｔ２２９８ 、 ＧＢ ／ Ｔ１０６２３ 、 ＧＢ ／ Ｔ２６１１１ 界定的以及下列术语和定义适用于本文件 。 ３ ． １ 载荷比 　 犾狅犪犱狉犪狋犻狅 周期加载中最大值和最小值的代数比 。 ３ ． ２ 瞬时破坏强度 　 犻狀狊狋犪狀狋犪狀犲狅狌狊犳犪犻犾狌狉犲狊狋狉犲狀犵狋犺 静态试验或共振振动试验在快速幅值增长过程中的破坏强度 。 ３ ． ３ 参考强度 　 狉犲犳犲狉犲狀犮犲狊狋狉犲狀犵狋犺 静态强度或瞬时破坏强度 。 ４ 　 试验方法 ４ ． １ 　 总则 通过对样品施加预期振动幅值的共振振动进行疲劳试验 。 当样品失效或达到预定的试验时间或次数时 ， 试验结束 。 ４ ． ２ 　 试验设备 ４ ． ２ ． １ 　 概述 试验设备能够对试验结构产生恒定振幅和稳定频率的振动 。 试验系统由激振器 、 拾振传感器 （ 以下 １ 犌犅 ／ 犜 ３８４４７ — ２０２０