(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123287231.X (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 安徽高芯众科半导体有限公司 地址 247100 安徽省池州市直属园区经济 技术开发区金安园区金同路69号 (72)发明人 辛长林　阚云峰　刘洪刚　 (74)专利代理 机构 西安赛嘉知识产权代理事务 所(普通合伙) 61275 专利代理师 胡正耀 (51)Int.Cl. B08B 5/02(2006.01) B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于在线监测技术的半导体零部件清 洗装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种基于在线监测技术 的半导体零部件清洗装置， 包括箱体， 所述箱体 的外侧壁固定安装有步进电机， 所述步进电机电 机轴的右端贯穿箱体侧壁并固定连接有安装框 架， 所述安装框架内的底面设有清洗网盒， 所述 清洗网盒的上表面设有网盒盖板， 所述安装框架 的上表面左右对称设有定位板， 且定位板与网盒 盖板的上表 面相抵， 所述定位板和安装框架靠近 前端的位置均开设有安装孔， 且安装孔的内部设 有紧固螺栓， 所述紧固螺栓的螺头外侧套设有限 位套， 且限位套固定安装在定位板的上表面， 通 过设置安装框架和清洗网盒， 进而将清洗网盒安 装在安装框架的内部， 进而实现对半导体零部件 的快速上 料和下料。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 216606440 U 2022.05.27 CN 216606440 U 1.一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置， 包括箱体(1)， 其特征在于： 所述 箱体(1)的外侧壁固定安装有步进电机(2)， 所述步进电机(2)电机轴的右端贯穿箱体(1)侧 壁并固定连接有安装框架(3)， 且安装框架(3)的右端与箱体(1)的内侧壁转动连接， 所述安 装框架(3)内的底面设有清洗网盒(4)， 所述清洗网盒(4)的上表面设有网盒盖板(5)， 所述 安装框架(3)的上表面左右对称设有定位板(6)， 且定位板(6)与网盒盖板(5)的上表面相 抵， 所述定位板(6)和安装框架(3)靠近前端的位置均开设有安装孔(7)， 且安装孔(7)的内 部设有紧固螺栓(8)， 所述紧固螺栓(8)的螺头外侧套设有限位套(9)， 且限位套(9)固定安 装在定位板(6)的上表面， 所述紧固螺栓(8)的螺身外侧套设有螺纹套(10)， 且螺纹套(10) 与安装框架(3)的下表面相抵， 所述安装框架(3)上表 面靠近后端的位置左右对称固定连接 有T型卡块(11)， 两个所述定位板(6)的底部分别套设在两个T型卡 块(11)的外侧。 2.根据权利要求1所述的一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置， 其特征在 于： 所述箱体(1)的外侧设有拉手(13)， 且拉手(13)设有两个， 两个所述拉手(13)右端均固 定连接有限位板(12)， 两个所述限位板(12)的右侧壁分别固定连接有 垃圾收集 盒(14)和干 冰放置盒(17)， 且垃圾收集盒(14)和干冰放置盒(17)的右端均贯穿箱体(1)侧壁并延伸至 箱体(1)的内部， 所述垃圾收集 盒(14)的下表面设有除尘风机(15)， 且除尘风机(15)固定安 装在箱体(1)内的底面， 所述箱体(1)的底部开设有排风槽(16)， 且排风槽(16)位于除尘风 机(15)的正下 方。 3.根据权利要求2所述的一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置， 其特征在 于： 所述干冰放置盒(17)的上表面设有降温风机(18)， 且降温风机(18)固定安装在箱 体(1) 内的顶面， 所述箱体(1)的顶部开设有 进风窗， 且进风窗的内侧壁 安装有滤尘网(19)。 4.根据权利要求2所述的一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置， 其特征在 于： 所述干冰放置盒(17)的下表面前后对称套设有导向滑轨(25)， 两个所述导向滑轨(25) 均与箱体(1)的内侧壁固定连接， 所述垃圾收集 盒(14)的外侧壁前后对称设有导向板(24)， 两个所述导 向板(24)均与箱体(1)内的底面固定连接， 所述干冰放置盒(17)和垃圾 收集盒 (14)的底部均开设有通 风网孔。 5.根据权利要求1所述的一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置， 其特征在 于： 所述清洗网盒(4)内的底面设有隔离栅架(20)， 且隔离栅架(20)的上表面与网盒盖板 (5)相抵， 所述紧固螺栓(8)的上端 固定连接有连接绳(21)， 且连接绳(21)的后端与定位板 (6)固定连接 。 6.根据权利要求2所述的一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置， 其特征在 于： 所述箱体(1)的下表 面左右对称固定连接有支脚(23)， 两个所述支脚(23)分别位于排风 槽(16)正下 方的左右两侧。 7.根据权利要求1所述的一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置， 其特征在 于： 所述箱体(1)的外侧壁铰接有密封门(22)， 所述密封门(22)的外侧壁固定安装有把手、 控制面板和在线监测设备。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216606440 U 2一种基于在线 监测技术的半导体零部件清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于清洗装置技术领域， 具体涉及一种基于在线监测技术的半导体零 部件清洗装置 。 背景技术 [0002]在线监测技术是在被测设备处于运行的条件下， 对设备的状况进行连续或定时的 监测， 通常是自动进 行的。 检测人可以通过该设备同步监视被监设备， 传统的清洗是有机化 学溶剂或试剂， 对有机残留进 行溶解后处理； 或者采用辅助的高压水喷砂清洗等。 但前者会 对环境造成污染， 后者会损坏零部件本身表面涂层。 目前已经有高压水冲洗、 干冰清洗等特 殊的清洗方法， 但目前半导体零部件极少采用这样的方法， 经过试验发现高温低温交替作 用后可以使半导体表面的有机 污染物脱落， 从而实现无 溶剂绿色清洗 。 [0003]现有的基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置在使用时， 对半导体零部件进 行上料和卸 料时较为不便， 同时多个半导体零部件在冷却过程中冷却 不均， 且半导体零部 件表面剥落的有机污染物部 分附着在半导体零部件的背风面难以被收集， 导致半导体零部 件的清洗质量较差， 为此我们提出一种基于在线监测技 术的半导体零部件清洗装置 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置， 以 解决上述背景技 术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种基于在线监测技术的半导 体零部件清洗装置， 包括箱体， 所述箱体的外侧壁固定安装有步进电机， 所述步进电机电机 轴的右端贯穿箱体侧壁并固定连接有安装框架， 且安装框架的右端与 箱体的内侧壁转动连 接， 所述安装框架内的底面设有清洗网盒， 所述清洗网盒的上表面设有网盒盖板， 所述安装 框架的上表面左右对称设有定位板， 且定位板与网盒盖板的上表面相 抵， 所述定位板和安 装框架靠近前端的位置均开设有安装孔， 且安装孔的内部设有紧固螺栓， 所述紧固螺栓的 螺头外侧套设有限位套， 且限位套固定安装在定位板的上表面， 所述紧固螺栓的螺身外侧 套设有螺纹套， 且螺纹套与安装框架的下表面相抵， 所述安装框架上表面靠近后端的位置 左右对称固定连接有 T型卡块， 两个所述定位板的底部分别套设在两个T型卡 块的外侧。 [0006]优选的， 所述箱体的外侧设有拉手， 且拉手设有两个， 两个所述拉手右端均固定连 接有限位板， 两个所述限位板的右侧 壁分别固定连接有垃圾收集盒和干冰放置盒， 且垃圾 收集盒和干冰放置盒的右端均贯穿箱体侧壁并延伸至箱体的内部， 所述垃圾收集盒的下表 面设有除尘风机， 且除尘风机固定安装在箱体内的底面， 所述箱体的底部开设有排风槽， 且 排风槽位于除尘风机的正下 方。 [0007]优选的， 所述干冰放置盒的上表面设有降温风机， 且降温风机固定安装在箱体内 的顶面， 所述箱体的顶部开设有 进风窗， 且进风窗的内侧壁 安装有滤尘网。 [0008]优选的， 所述干冰放置盒的下表面前后对称套设有导向滑轨， 两个所述导向滑轨说　明　书 1/4 页 3 CN 216606440 U 3